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 行业资讯详细资料 发布日期：2006-8-7 19:39:33  |
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日本SII纳米科技与Carl Zeiss NTS联合开发研究用FIB-SEM装置
日本SII纳米科技(SII NanoTech)与德国Carl Zeiss NTS GmbH发布了面向研究开发的FIB-SEM CrossBeam装置“NVision 40”，该仪器将主要用于材料分析、半导体和生命科学等领域的研究开发。
SII纳米科技与Carl Zeiss NTS于2006年3月宣布战略合作，共同开发FIB-SEM装置。该型仪器是继7月13日推出的“XVision 300”之后的第二款合作开发产品。
NVision 40是以可进行高分辨率显微观察的Carl Zeiss NTS公司生产的“ULTRA”扫描型电子显微镜（SEM）为平台开发而成。采用ZEISS独有的“GEMINI”镜筒技术，同时配有可同时检测二次电子及背散射电子（EsB）的两个In-Lens式检测器。这两个检测器即使在样品观测距离短、低加速电压的条件下，也可达到最高的检测效率。
在这一平台上配备了SII纳米科技的zeta型FIB镜筒和多通道气体注射系统。通过FIB镜筒实现了4nm的高分辨度，还实现了基于高电子束流密度的大吞吐量加工以及出色的低加速电压下的加工。通过GEMINI镜筒的高分辨率SEM观察功能，可实现刻蚀加工中的实时高分辨率监测，FIB加工时的定位和终点识别将更为容易。这样就可以高效率地加工低损伤的高质量TEM样品。
这款仪器的详情已在7月31日于美国芝加哥举行的电子显微镜国际学会“Microscopy & Microanalysis 2006（M＆M2006）”上发表。
来源:仪器信息网
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